扫描仪的性能指标主要有分辨率、灰度级和色彩数，另外，还有扫描速度、扫描幅面等等。 分辨率 分辨率表示了扫描仪对图像细节的表现能力，通常用每英寸长度上扫描图像所含的像素点的多少来表示，即（Dot Per Inch)。 灰度级 灰度级表示灰度图像的亮度层次范围。级数越多说明扫描仪图像亮度范围越大、层次越丰富。
CIS的中文名称是接触式图像感应装置。它采用触点式感光元件（光敏传感器）进行感光，在扫描平台下1mm～2mm处，300～600个红、绿、蓝三色LED（发光二极管）传感器紧紧排列在一起，产生白色光源，取代了CCD扫描仪中的CCD阵列、透镜、荧光管和冷阴极射线管等复杂机构，把CCD扫描仪的光、机、电一体变成CIS扫描仪的机、电一体。用CIS技术制作的扫描仪具有体积小、重量轻、生产成本低等优点，但CIS技术也有不足之处，主要是用CIS不能做成高分辨率的扫描仪，扫描速度也比较慢。
CCD的中文名称是电荷耦合器件，与一般的半导体集成电路相似，它在一块硅单晶上集成了成千上万个光电三极管，这些光电三极管分成三列，分别被红、绿、蓝色的滤色镜罩住，从而实现彩色扫描。光电三极管在受到光线照射时可产生电流，经放大后输出。采用CCD的扫描仪技术经多年的发展已相当成熟，是市场上主流扫描仪主要采用的感光元件。
基本原理 利用光感器件，将检测到的光信号转换成电信号，再将电信号通过模拟/数字（A/D）转换器转化为数字信号，传输到计算机就中。 光电转换部件 完成光电转换的部件是感光器件，它是扫描仪的核心，其光电转换特性，如光谱相应、光的稳定性、灵敏度、噪声等，对图像信息传递很重要。